DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀
產(chǎn)品介紹
DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝，也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。能對(duì)電阻性負(fù)載的各種電加熱爐能提供長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)性的高精度溫度自動(dòng)控制。
 
規(guī)格參數(shù)
DWT-702精密溫度自動(dòng)控制儀適用于晶體管、固體集成電路、可控硅元件等半導(dǎo)體制造過(guò)程中各種外延、燒結(jié)和擴(kuò)散等工藝，也適用于各種晶體生長(zhǎng)、拉單晶等工藝。
 
產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)
型    式：盤(pán)裝式、便攜式
設(shè)定范圍：O～19.999mV*配用熱電偶 S(LB-3)
          O～59.999mV*配用熱電偶K (EU_2)
設(shè)定精度：0.3*
設(shè)定方式：五位十進(jìn)數(shù)定拔盤(pán)
調(diào)節(jié)精度：±O.1％
放大器時(shí)漂：≤4μV／24小時(shí)
PID調(diào)節(jié)器參數(shù)：P：2～250％       連續(xù)可調(diào)
               I：O.5～10分鐘    連續(xù)可調(diào)
               D：O～3分鐘       連續(xù)可調(diào)
輸出信號(hào)：移相脈沖，幅值>3V  寬度>30μs(20Ω負(fù)載)
移相范圍：每交流半周>150℃
數(shù)偶保護(hù)：斷偶時(shí)，偏差指示為正偏差，調(diào)節(jié)器輸出為零，儀表無(wú)輸出
抗干擾性：縱向220V50Hz：橫向5mV
工作環(huán)境：溫度為0～40℃相對(duì)濕度不超過(guò)
          85％RH的無(wú)腐蝕性氣體的場(chǎng)合
大氣壓力：860～1060mbar
電    源：220V.AC±10％50Hz
重    量：約6.5kg